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再次启动的瞬间,液态锡靶被柔性脉冲轻轻激发,闪烁出稳定的辉光。
紧接着,主脉冲轰然击下,光弧瞬间膨胀,但这一次,它并没有紊乱,而是像被无形之手固定在空中,燃烧得均匀而持久。
“能量稳定!”
“寿命突破5秒……10秒……20秒!”
监控屏上的曲线几乎稳如首线,实验室里爆发出压抑不住的惊呼声。
有人激动地捂住嘴,有人红着眼喊出声:“成功了!
真的稳住了!”
伍思辰看着那道持续燃烧的光弧,眼神如刀锋般锐利。
他声音不大,却震得每个人心头发烫:
“记住,这只是第一步。
但今天,你们证明了——别人说不可能的,我们照样能做到。”
全场爆发出山呼海啸般的掌声与欢呼,科研人员们激动得几乎落泪。
那一刻,压在心头的阴霾被彻底击碎。
他们知道,大夏的光刻机,真正点燃了!
光源实验的成功,让团队士气大振,但所有人都清楚:这只是光刻机的一只翅膀。
真正能否飞起来,还要看另一只——高精度反射镜。
没有足够稳定的反射率,就无法把极紫外光束精准聚焦到纳米级的晶圆上。
前期使用的钼硅多层镜,寿命不过几次点火,便被烧成了黝黑的废片。
于是,所有的希望都压在伍思辰提出的“碳纳米管复合镀层”
上。
第一次实验
厚厚的防护罩后,镀层完成的第一片反射镜缓缓送入光源通道。
控制台内,研究员们屏住呼吸。
光源点火!
极紫外光束喷薄而出,打在镜面上。
最初的几秒,监测曲线平稳,反射率高达72%。
全场振奋。
可还没等人欢呼,监控画面陡然闪烁,镜片边缘骤然龟裂,像蛛网一样瞬间蔓延。
“裂了!”
轰的一声,实验舱内的警报响起,反射率数据首线坠落。
那片来之不易的试片,就这样报废。
所有人神色惨白,仿佛被泼了一盆冷水。
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